Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式临界点干燥仪多年成功经验的基础上，结合Tousimis独立研发的触屏控制界面全新推出的新一代产品。 Touchscreen C 系列干燥仪具有 高可靠性、高重复性、操作简便 的特点，采用广受好评的 专业触屏软件全自动控制 ，是提高MEMS研发与生产效率的必备利器。

产品特点：

专为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制备而设计的落地式全自动临界点干燥仪，无尘室适用
最大可处理8"晶圆，每次最多可处理5个晶圆
标配HF相容晶圆架和10mm方型晶圆架
标配专用样品室内环，可适配不同直径的晶片样品，节省LCO ₂ 用量，缩短干燥时间，提高干燥效率
LCD触控屏
可编程触屏控制界面，全自动控制
多种默认处理程序，也可自定义程序并重复使用
慢速充液功能，适用于各种易损样品
独有“Stasis”程序用于处理较厚或较难干燥的样品
高效内部冷却回路，快速降温，节省40%LCO ₂
专用内置式 SOTER冷凝器用于分离乙醇和CO ₂ ，消除静电及吹扫噪音
外置两级过滤系统，可过滤LCO ₂ 内0.08μm以上杂质
外置吹扫后过滤器，便于仪器维护
非机械式吹扫搅拌技术，免维护
内置压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性
精确参数控制，确保处理结果重复性
样品室设有照明灯及观察窗，便于观察样品状态
无尘室防静电兼容设计
所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准

C系列干燥仪参数对比：

型号	Automegasamdri®- 93 ‍4 Series C	Automegasamdri®-936 ‍ Series C	Automegasamdri®- 938 ‍ Series C
产品编号	8788A	8788B	8788C
样品室尺寸	4.5"(内径) × 1.25"(深)	6.5"(内径) × 1.25"(深)	8.5"(内径) × 1.25"(深)
样品室容积	326 ml	679 ml	1162 ml
降温时间	<3 min	<4 min	<5 min
样品室内环	4", 3", 2", 1.25"	6", 4", 3", 2", 1.25"	8", 6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶圆架	4", 3", 2", 10mm	6", 4", 3", 2", 10mm	8", 6", 4", 3", 2", 10mm
温度压力范围	- 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~ 2000 psi
设备尺寸	50.3 cm (宽) × 　80.6 cm (深) × 　113.0 cm (高)

标配附件：

柔性高压LCO 2 进液管线，3.0 m（无尘室)
外置两级LCO ₂ 过滤装置（去油/水及0.5 μm以上颗粒物）
用于吹扫、放空、排气及冷却放空的防静电管线
备用样品室密封环（3），样品室灯泡（2），保险丝（2）
样品室内环，内径8"(仅适用于8.5英寸型号), 6"(仅适用于8.5与6.5英寸型号), 4", 3", 2", 1.25"，可适配不同直径晶圆
HF相容晶圆架[8"(仅适用于 8.5英寸型号 ), 6"(仅适用于 8.5与6.5英寸型号 ), 4", 3", 2"]及10mm方形样品架，每个支架最多可放置5片晶圆或样品
安装工具
用户说明书及数据表
2年质保及终生免费技术支持